無塵室不僅對空氣潔淨度有嚴格要求，對於水和電的供應品質及管路配置也有極高標準。水電配管系統在無塵室中負責將純水、冷卻水、製程用水、電力等資源安全有效地輸送到各個製程設備，並將廢水、廢氣等排出。